На этом веб-сайте используются файлы cookie, которые обеспечивают работу всех функций для наиболее эффективной навигации по странице. Если вы не хотите принимать постоянные файлы cookie, пожалуйста, выберите соответствующие настройки на своем компьютере. Продолжая навигацию по сайту, вы косвенно предоставляете свое согласие на использование файлов cookie на этом веб-сайте. Более подробная информация предоставляется в нашей Политике конфиденциальности и Политике использования файлов сookie.
- Вакуумные затворы (вакуумные шиберы) остаются герметично закрытыми даже в случае проблем со сжатым воздухом или электропитанием, которые подаются для управления работой вакуумного затвора, что обеспечивается уникальной конструкцией механизма фиксации соединения тарелка-седло вакуумного затвора. При этом данный механизм прост и надежен в работе, что обеспечивает повышенный ресурс работы вакуумного шибера. - Наименьшая площадь внутренних частей и механизмов среди вакуумных затворов всех производителей - Линейный привод внутри вакуумного затвора герметично изолирован сильфоном, в конструкции затвора не используются «открытые в вакуум» приводы (например, вакуумные приводы вращения, которые уменьшает проблему «чистоты» вакуума по сравнению с открытыми линейными приводами, но не решают её полностью). Вибрация и удар в момент закрытия вакуумного затвора значительно меньше по сравнению с вакуумными затворами других производителей благодаря уникальной конструкции пневматического цилиндра вакуумного шибера. Данная особенность вакуумных затворов позволила использовать их на многих вакуумных установках в полупроводниковой промышленности, где требуется относительно безвибрационная работа вакуумного затвора. - Все внутренние механизмы легко извлекаются из корпуса вакуумных затворов, что обеспечивает легкость их сервисного обслуживания.