Как подсоединить магнетрон к вакуумной камере
Как подсоединить магнетрон к вакуумной камере
Голова магнетрона серии ONIX компании Angstrom Science приварена к трубе (обычно диаметром 1 дюйм, но возможны и другие диаметры). Данная труба вставляется в обжимное крепление типа Quick Disconnect (далее QD), благодаря чему обеспечивается вакуумная герметичность соединения. При этом, чтобы гарантировать, что магнетрон не будет двигаться внутрь вакуумной камеры, труба непосредственно под соедиением QD обжимается хомутом (на фотографиях цифра 1).
Для обеспечения жёсткости сборки пары магнетрон-заслонка в вакуумной камере и с атмосферной стороны ближе к концам труб магнетрон и заслонка соединяются прямоугольным держателем (на фотографиях цифра 2).
Рисунок 1 Внешний вид магнетронов ONIX-2 с заслонками, установленных в вакуумной камере.
Рисунок 2 Вид магнетронов и заслонок с атмосферной стороны вакуумной камеры
В камере нужно будет просверлить отверстие (или два отверстия, если ещё планируется устанавливать заслонку), приварить соединение Quick Disconnect, в него вставляется труба, на которой закреплён магнетрон, затем соединение QD закручивается рукой, резинка обжимает трубу (на которой закреплён магнетрон или заслонка), образуется вакуум-плотное соединение. На Рисунке 2 показано именно такое исполнение по подсоединению магнетронов для вакуумного напыления к вакуумной камере.
Обжимное соединение QD может быть подсоединено к вакуумной камере несколькими способами.
Приварка обжимного соединения QD.
Для этого в камере высверливаются отверстия, и соединение QD, купленное в исполнении «под приварку» (показано на Рисунок 3), приваривается к вакуумной камере с атмосферной стороны (при этом сварной шов нужно делать с вакуумной стороны).
Обратите внимание, что диаметр высверливаемого отверстия должен быть равен внешнему диаметру патрубка привариваемого соединения QD.
Рисунок 3 Вакуумное обжимное соединение QD
Присоединение обжимного соединения QD к вакуумной камере с помощью быстроразъёмного соединения Baseplate.
На фотографии ниже (Рисунок 4) представлено быстроразъёмное соединение Baseplate c переходом на обжимное соединение QD.
Рисунок 4 Переходник Quick Disconnect - Baseplate
На наш взгляд данное исполнение Baseplate не является удачным, так как вакуумное уплотнение с помощью витонового кольца осуществляется с атмосферной стороны. Лучше использовать Baseplate соединение, у которого вакуумное уплотнение происходит с вакуумной стороны стенки камеры, в этом случае уменьшается негативное воздействие скрытых полостей (которые образуются в резьбовом соединении).
Обращаем внимание, что в месте прилегания уплотнительного витонового кольца необходимо иметь гладкую и ровную поверхность без зазубрин и царапин, с уровнем полировки, достаточным, чтобы обеспечить необходимую вакуумную герметичность.
При данном методе крепления магнетрона в плоской стенке вакуумной камеры также делается отверстие, в месте отверстия крепится соединение Baseplate, и потом с помощью обжимного соединения QD крепится магнетрон.
Переходник с QD на фланцевое соединение.
Если в вашей камере имеются вакуумные фланцы стандарта CF или KF, то с помощью переходника QD – CF или QD – KF магнетрон можно легко и быстро подсоединить магнетрон к вакуумной камере.
Рисунок 5 Переходник QD - CF
Голова магнетрона серии ONIX компании Angstrom Science приварена к трубе (обычно диаметром 1 дюйм, но возможны и другие диаметры). Данная труба вставляется в обжимное крепление типа Quick Disconnect (далее QD), благодаря чему обеспечивается вакуумная герметичность соединения. При этом, чтобы гарантировать, что магнетрон не будет двигаться внутрь вакуумной камеры, труба непосредственно под соедиением QD обжимается хомутом (на фотографиях цифра 1).
Для обеспечения жёсткости сборки пары магнетрон-заслонка в вакуумной камере и с атмосферной стороны ближе к концам труб магнетрон и заслонка соединяются прямоугольным держателем (на фотографиях цифра 2).
Рисунок 1 Внешний вид магнетронов ONIX-2 с заслонками, установленных в вакуумной камере.
Рисунок 2 Вид магнетронов и заслонок с атмосферной стороны вакуумной камеры
В камере нужно будет просверлить отверстие (или два отверстия, если ещё планируется устанавливать заслонку), приварить соединение Quick Disconnect, в него вставляется труба, на которой закреплён магнетрон, затем соединение QD закручивается рукой, резинка обжимает трубу (на которой закреплён магнетрон или заслонка), образуется вакуум-плотное соединение. На Рисунке 2 показано именно такое исполнение по подсоединению магнетронов для вакуумного напыления к вакуумной камере.
Обжимное соединение QD может быть подсоединено к вакуумной камере несколькими способами.
Приварка обжимного соединения QD.
Для этого в камере высверливаются отверстия, и соединение QD, купленное в исполнении «под приварку» (показано на Рисунок 3), приваривается к вакуумной камере с атмосферной стороны (при этом сварной шов нужно делать с вакуумной стороны).
Обратите внимание, что диаметр высверливаемого отверстия должен быть равен внешнему диаметру патрубка привариваемого соединения QD.
Рисунок 3 Вакуумное обжимное соединение QD
Присоединение обжимного соединения QD к вакуумной камере с помощью быстроразъёмного соединения Baseplate.
На фотографии ниже (Рисунок 4) представлено быстроразъёмное соединение Baseplate c переходом на обжимное соединение QD.
Рисунок 4 Переходник Quick Disconnect - Baseplate
На наш взгляд данное исполнение Baseplate не является удачным, так как вакуумное уплотнение с помощью витонового кольца осуществляется с атмосферной стороны. Лучше использовать Baseplate соединение, у которого вакуумное уплотнение происходит с вакуумной стороны стенки камеры, в этом случае уменьшается негативное воздействие скрытых полостей (которые образуются в резьбовом соединении).
Обращаем внимание, что в месте прилегания уплотнительного витонового кольца необходимо иметь гладкую и ровную поверхность без зазубрин и царапин, с уровнем полировки, достаточным, чтобы обеспечить необходимую вакуумную герметичность.
При данном методе крепления магнетрона в плоской стенке вакуумной камеры также делается отверстие, в месте отверстия крепится соединение Baseplate, и потом с помощью обжимного соединения QD крепится магнетрон.
Переходник с QD на фланцевое соединение.
Если в вашей камере имеются вакуумные фланцы стандарта CF или KF, то с помощью переходника QD – CF или QD – KF магнетрон можно легко и быстро подсоединить магнетрон к вакуумной камере.
Рисунок 5 Переходник QD - CF
