|
CXF-200/1401CE (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионостойкий
Артикул: CXF-200/1401CE (CF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401CE (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионостойкий
Артикул: CXF-200/1401CE (ISOF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401CSE (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, (сплит-система)
Артикул: CXF-200/1401CSE (CF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401CSE (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, (сплит-система)
Артикул: CXF-200/1401CSE (ISOF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401CV (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий, термостойкий
Артикул: CXF-200/1401CV (CF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401CV (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий, термостойкий
Артикул: CXF-200/1401CV (ISOF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401CVSE (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, термостойкие, (сплит-система)
Артикул: CXF-200/1401CVSE (ISOF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401E (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м
Артикул: CXF-200/1401E (CF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401E (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м
Артикул: CXF-200/1401E (ISOF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401SE (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, (сплит-система)
Артикул: CXF-200/1401SE (CF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1401SE (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м, (сплит-система)
Артикул: CXF-200/1401SE (ISOF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1402E (CF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м
Артикул: CXF-200/1402E (CF200) |
|
|
|
|
CXF-200/1402E (ISOF200) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 200, скорость откачки 1400 л/с, со встроенным контроллером и кабелем 2,5 м
Артикул: CXF-200/1402E (ISOF200) |
|
|
|
|
CXF-250/2301CE (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий
Артикул: CXF-250/2301СE (CF250) |
|
|
|
|
CXF-250/2301CSE (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, (сплит-система)
Артикул: CXF-250/2301CSE (CF250) |
|
|
|
|
CXF-250/2301CSE (ISOF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкие, (сплит-система)
Артикул: CXF-250/2301CSE (ISOF250) |
|
|
|
|
CXF-250/2301CV (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий, термостойкий
Артикул: CXF-250/2301CV (CF250) |
|
|
|
|
CXF-250/2301CV (ISOF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м, коррозионностойкий, термостойкий
Артикул: CXF-250/2301CV (ISOF250) |
|
|
|
|
CXF-250/2301E (CF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце CF 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м
Артикул: CXF-250/2301E (CF250) |
|
|
|
|
CXF-250/2301E (ISOF250) Насос высоковакуумный турбомолекулярный на магнитном подвесе на фланце ISO-F 250, скорость откачки 2300 л/с, с контроллером и кабелем 2,5 м
Артикул: CXF-250/2301E (ISOF250) |
|
|
|
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе — это насосы, вал которых поддерживается за счет силы магнитного поля, отвечают прикладным требованиям в области современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного нанесения покрытий и научных приборов. Скорость откачки данных насосов составляет 1400–3000 л/с, рабочее давление от 20 Па до 10-7 Па.
5-осевой магнитно-левитирующий подшипник, основан на передовой международной теории управления. Такая конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку с помощью динамического активного магнитного поля замкнутой цепи. Технология управления подвеской гарантирует существенные преимущества высокоскоростного вращения вала.
Насос на магнитном подвесе изготовлен из сплава высокопрочного алюминия и легкого углеродного волокна. Алюминиевый сплав характеризуются значительным снижением веса насоса и улучшением прочности. Благодаря чему достигаются цели по высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.
Поверхности деталей в камерах насоса обрабатываются специальным способом, тем самым поверхность противостоит коррозии, вызванной агрессивными газами в полупроводниках. Кроме того, валы насосов полностью заполнены такими инертными газами, как N2 для защиты деталей с низким вакуумом и обеспечивают стабильную откачку агрессивных газов в течении длительного времени.
ТМН на магнитном подвесе оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры. Во время работы можно контролировать охлаждение воды, электронагрев и тепло переносимое защитными газами, так же можно контролировать защитные газы во время работы и поддерживать температуру в насосах при определенном значении в течение длительного времени.
