Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе — это насосы, вал которых поддерживается за счет силы магнитного поля, отвечают прикладным требованиям в области современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного нанесения покрытий и научных приборов. Скорость откачки данных насосов составляет 1400–3000 л/с, рабочее давление от 20 Па до 10-7 Па.
5-осевой магнитно-левитирующий подшипник, основан на передовой международной теории управления. Такая конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку с помощью динамического активного магнитного поля замкнутой цепи. Технология управления подвеской гарантирует существенные преимущества высокоскоростного вращения вала.
Насос на магнитном подвесе изготовлен из сплава высокопрочного алюминия и легкого углеродного волокна. Алюминиевый сплав характеризуются значительным снижением веса насоса и улучшением прочности. Благодаря чему достигаются цели по высокой скорости вращения, высокой производительности и высокой надежности.
Поверхности деталей в камерах насоса обрабатываются специальным способом, тем самым поверхность противостоит коррозии, вызванной агрессивными газами в полупроводниках. Кроме того, валы насосов полностью заполнены такими инертными газами, как N2 для защиты деталей с низким вакуумом и обеспечивают стабильную откачку агрессивных газов в течении длительного времени.
ТМН на магнитном подвесе оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры. Во время работы можно контролировать охлаждение воды, электронагрев и тепло переносимое защитными газами, так же можно контролировать защитные газы во время работы и поддерживать температуру в насосах при определенном значении в течение длительного времени.